分類: 百科 常識(shí)詞典 編輯 : 常識(shí) 發(fā)布 : 09-29

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MEMS是怎樣的技術(shù)，哪些已經(jīng)民用了？希望能夠就具體的技術(shù)作一些說(shuō)明，比如噴墨打印機(jī)，-陀螺儀，壓力測(cè)量等等為什么需要用到MEMS，大致是怎樣的工藝。4 個(gè)答案

答案 1：

樓主問(wèn)的比較籠統(tǒng)，那我也籠統(tǒng)地回答下：技術(shù)概念：微機(jī)電系統(tǒng)Micro-Electro-Mec-anicalSystems （MEMS）是利用集成電路制造技術(shù)和微加工技術(shù)把微結(jié)構(gòu)、微傳感器、控制處理電路甚至接口、通信和電源等制造在一塊或多塊芯片上的-集成系統(tǒng)。MEMS可以革命性地影響幾乎所有類別的產(chǎn)品。它用微加工技術(shù)將各種產(chǎn)品整合到基于硅的微電子芯片上，做到systems-on-a-c-ip。工藝簡(jiǎn)介：MEMS工藝與傳統(tǒng)的IC工藝有許多相似之處，如光刻、薄膜沉積、摻雜、刻蝕、化學(xué)機(jī)械拋光工藝等，但是有些復(fù)雜的微結(jié)構(gòu)難以用IC工藝實(shí)現(xiàn)，必須采用微加工技術(shù)制造。微加工技術(shù)包括硅的體微加工技術(shù)、表面微加工技術(shù)和特殊微加工技術(shù)。體加工技術(shù)是指沿著硅襯底的厚度方向?qū)枰r底進(jìn)行刻蝕的工藝，包括濕法刻蝕和干法刻蝕，是實(shí)現(xiàn)三維結(jié)構(gòu)的重要方法。表面微加工是采用薄膜沉積、光刻以及刻蝕工藝，通過(guò)在犧牲層薄膜上沉積結(jié)構(gòu)層薄膜，然后去除犧牲層釋放結(jié)構(gòu)層實(shí)現(xiàn)可動(dòng)結(jié)構(gòu)。除了上述兩種微加工技術(shù)以外，MEMS制造還廣泛地使用多種特殊加工方法，其中常見的方法包括鍵合、LIGA、電鍍、軟光刻、微模鑄、微立體光刻與微電火花加工等。技術(shù)優(yōu)勢(shì)：總體來(lái)說(shuō)，用MEMS工藝制造傳感器、執(zhí)行器或者微結(jié)構(gòu)，優(yōu)點(diǎn)是:-化、集成化、智能化、成本低、效能高、可大批量生產(chǎn)等。具體到各個(gè)器件：例如，MEMS陀螺儀沒(méi)有旋轉(zhuǎn)部件、不需要軸承，并可以用微機(jī)械加工技術(shù)大批量生產(chǎn)。每個(gè)器件用到的工藝細(xì)節(jié)實(shí)在太多，就不贅述了。主流應(yīng)用：我對(duì)傳感器比較熟，現(xiàn)在MEMS傳感器的主要應(yīng)用在：汽車電子領(lǐng)域、計(jì)算機(jī)領(lǐng)域、消費(fèi)電子領(lǐng)域、網(wǎng)絡(luò)通信類、醫(yī)療電子領(lǐng)域等?？梢哉f(shuō)有著廣泛的應(yīng)用。你所提的民用化，主要就是前4項(xiàng)吧?，F(xiàn)在應(yīng)用比較熱的是消費(fèi)電子領(lǐng)域，手機(jī)，平板電腦等，在將來(lái)會(huì)有較大的市場(chǎng)（加速度傳感器，陀螺儀，電子羅盤，麥克風(fēng)等）。傳統(tǒng)的汽車領(lǐng)域也會(huì)保持較高的份額。

答案 2：

MEMS的工藝比較非主流，不是很標(biāo)準(zhǔn)化?？梢哉f(shuō)每一個(gè)MEMS都有自己的風(fēng)格。

我講兩個(gè)自己弄過(guò)的MEMS產(chǎn)品，權(quán)作例子了。

一個(gè)是-麥克風(fēng)：

在硅的表面堆一層多晶硅（P0），再堆一層二氧化硅，再堆一層多晶硅（P1），蝕刻出一定的形狀，再蝕刻掉中間那層二氧化硅，這樣P0和P1之間就空了，一旦P1震動(dòng)，兩層多晶硅之間的電容就變了，這就成了聲音-電容的轉(zhuǎn)換器。

（如果我是設(shè)計(jì)師，我就在硅上先把模數(shù)轉(zhuǎn)換器的CMOS做好，蓋一個(gè)ILD，簽好contact再做上面那個(gè)流程，那么電容轉(zhuǎn)化為數(shù)字信號(hào)也一把完成了……）

一個(gè)是---：

用硅蝕刻出一個(gè)管道，管道中間弄成一個(gè)塞子狀，塞子的通過(guò)一條杠桿狀的硅連接在另一條硅上（R）。外界輸入信號(hào)是加在R上電壓，不同的電壓會(huì)造成不同的熱功率，不同的熱功率會(huì)造成R不同的形變，R不同的形變會(huì)牽扯杠桿拉動(dòng)塞子，那么管道的橫截面積就會(huì)隨之改變，就起到了-控制的作用。

怎么樣，各有千秋吧。

答案 3：

MEMS其實(shí)就是一種傳感器，之所以采用這些東西，是因?yàn)镸EMS較其他的傳感器有廉價(jià)，準(zhǔn)確度高等優(yōu)點(diǎn)。就像為什么要用集成電路代替一般電路一樣?，F(xiàn)行的MEMS一般都是采用半導(dǎo)體工藝。

答案 4：

首先，我不是學(xué)器件的，我是學(xué)設(shè)計(jì)的，對(duì)于MEMS沒(méi)有太深入的了解，如果你對(duì)這個(gè)方向很感興趣的話，可以去Wikipedia搜一下MEMS，最好搜英文wiki，中文wiki十分的垃圾，都不如-好用，然后你可以去找一些相關(guān)的書來(lái)看一下，最好看外國(guó)的經(jīng)典教材，網(wǎng)上搜一下就找到了，我就不幫你搜了其次，我可以說(shuō)一點(diǎn)我的理解，首先MEMS是微機(jī)電系統(tǒng)的縮寫，也就是說(shuō)它同時(shí)涉及了機(jī)械和電子兩個(gè)學(xué)科，實(shí)現(xiàn)的是機(jī)械部件的功能，使用的是集成電路的技術(shù)，利用的是電信號(hào)進(jìn)行控制和傳導(dǎo)，某種程度上講確實(shí)是1樓所說(shuō)的傳感器，但是1樓的說(shuō)法實(shí)在是太草了，我自己最近幾年的工科學(xué)習(xí)中，十分討厭的就是各種高度概括的總結(jié)，什么問(wèn)題都說(shuō)不明白，卻也好像什么都說(shuō)明白了。我對(duì)于MEMS的理解，一是其控制精度應(yīng)該會(huì)十分出色，因?yàn)樗际羌{米級(jí)的制造工藝，二是基于十分成熟的VLSI的制造工藝生產(chǎn)成本會(huì)很低，三是應(yīng)用十分方便吧，因?yàn)樗旧砭褪且粋€(gè)機(jī)械和電子結(jié)合的產(chǎn)品已經(jīng)民用的應(yīng)該還蠻多吧，最熟悉的就是ip-one上的陀螺儀嘛，應(yīng)該還有別的應(yīng)用，這個(gè)應(yīng)該主要還是應(yīng)用在電子產(chǎn)品上的

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